美国AdValue Photonics:利用皮秒激光器实现无锥孔打

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2019-05-23
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  在透明材料中,可以通过传统的振镜扫描头实现无锥度工艺。传统上,这种工艺使用了脉冲持续时间为几十纳秒的绿光二极管浦固体(DPSS),导致芯片尺寸超过120 m。对于芯片尺寸小于20m的工艺而言,则需要皮秒激光器;与此同时,无锥度工艺则要求初为绿光DPSS激光器开发的相同工艺。

  AdValue采用EVERESTpico 1m激光器,以1 MHz的重复频率和M2 = 1.3、50皮秒的脉冲持续时间、50J的脉冲能量,通常在玻璃和蓝宝石材料中能高速实现芯片尺寸小于20 m的无锥度打孔。

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